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      成功案例/ Successful Cases
      大型氣相沉積爐

      大型氣相沉積爐

      主要技術參數:

      1. 高溫度:2000℃

      2. 使用空間:1500*2000

      3. 極限真空度:10-1Pa

      4. 加熱區:四區加熱


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